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      技術(shù)新聞

      圓臺平面磨床加工半導(dǎo)體行業(yè)中的晶圓

      隨著全球AI的快速發(fā)展,全世界對半導(dǎo)體芯片的需求也快速增長。晶圓做為半導(dǎo)體的載體,如何磨削晶圓,對于生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的工廠至關(guān)重要。晶圓通常是由超高純度的單晶硅圓柱體切割而成的薄圓片,常見的有8英寸和12英寸的規(guī)格,更大尺寸的晶圓意味著單次能生產(chǎn)出更多的芯片,從而提高加工效率,降低生產(chǎn)成本。

      從硅原料到最終的半導(dǎo)體成品芯片,中間要經(jīng)過上百道工序,我們目前生產(chǎn)的數(shù)控圓臺平面磨床,主要作用是加工由晶棒切割成薄片的工件,通常是8英寸或者12英寸的晶圓薄片,讓其表面變得更光滑,為晶圓下一道工序做準(zhǔn)備。

      近日墨西哥的一家工廠,正考慮建設(shè)一座12英寸半導(dǎo)體硅晶圓工廠,他們需要一臺數(shù)控全自動(dòng)平面磨床,可以加工從晶棒到晶圓的工件,磨削后使其粗糙度滿足客戶需求。在詳細(xì)了解客戶需求后,我們推薦了公司專研的半導(dǎo)體行業(yè)專用臥軸圓臺平面磨床,該磨床適用于磨削環(huán)形零件、軸承、閥片、鋸片、陶瓷、水晶、玻璃、石英、碳化硅等精密零件加工。

      客戶需要加工的12英寸晶圓

      上海鞍提仕數(shù)控臥軸圓臺平面磨床 MGGK7363

      機(jī)器的主要參數(shù)如下:

      主要參數(shù) 單位 MGGK7363
      工作臺直徑 mm 630
      電磁吸盤直徑 mm 630
      磨削工件最大尺寸(直徑×高) mm 630×200
      最大承重 Kg ≤500
      工作臺可傾斜角度 degree ±3
      工作臺轉(zhuǎn)速 (無極調(diào)速) r/min 0.5-150
      工作臺拖板水平往復(fù)速度 m/min 0.1-2
      工作臺拖板水平往復(fù)最大移動(dòng)量 mm 340
      金剛石砂輪尺寸(外徑×內(nèi)徑×高) mm 400×40×127
      磨頭主軸轉(zhuǎn)速(變頻調(diào)速) r/min 3000
      磨頭垂直最大移動(dòng)量 mm ?250
      磨頭垂直快速升降速度 mm/min 300
      磨頭主軸中心線至工作臺面距離 mm 130~380
      磨頭垂直自動(dòng)進(jìn)給量 ?mm 0.001-0.02
      電子手輪進(jìn)給倍率 X1X10X100
      磨頭電機(jī)功率 KW 7.5
      磨頭快速升降電機(jī)功率 KW 1.3
      工作臺旋轉(zhuǎn)電機(jī)功率 KW 3.7
      工作臺拖板水平往復(fù)電機(jī)功率 KW ?1.3
      冷動(dòng)水泵電機(jī)功率 ??KW? 0.125?
      潤滑電子油泵電機(jī)功率 KW 0.4
      機(jī)床總功率 KW ≈ 14
      機(jī)床外形尺寸(長X寬X高) mm 2350x1250x1950
      機(jī)床重量(約) KG 3500/3900

      如果你也有是半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)的工廠,有圓臺平面磨床的需求,歡迎隨時(shí)咨詢上海鞍提仕。我們有專業(yè)的工程師能夠?yàn)槟闾峁I(yè)的技術(shù)支持。

      公司郵箱:contact@antsmachine.com

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